2023-12-12
需求說明
此案例為士林中空軸伺服馬達應用於半導體製程設備，使用SDE驅動器搭配中空軸馬達，抽真空管線可穿越馬達軸心連接真空平台，透過真空吸附晶圓轉動，再配合進行化學藥劑塗布。
系統示意圖
系統功能、特色說明
1. 士林中空軸伺服馬達出力軸經防鏽處理，不易生鏽，且可適用於強酸環境。
2. 士林中空軸伺服馬達高速高精度，加減速反應快，馬達溫升低。
結語(建議)
- 士林中空軸伺服馬達出力軸貫穿(軸心貫穿孔Φ14，最大可客製Φ20)，可走風管(吸真空)或水管，節省空間，不受旋轉限制。
- 士林中空軸伺服馬達採用日系Nikon中空編碼器(22BIT/絕對型)，品質穩定性佳。
